1. 中国の先端半導体、EUVなしで進展も製造負担増

    [HARDWARE]

    輸出規制で先端露光装置を使えない中国の半導体各社は、旧世代の装置で複数回露光する手法を活用している。微細化は可能な一方、欠陥の増加や生産時間、コストの上昇が課題となっている。