1. Zeiss、ASML向けEUV部品生産拠点を拡張

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    Zeissは独オーバーコッヘンの生産拠点を拡張し、新棟の引き渡しを開始した。ASMLのEUV露光装置に使う光学部品の供給能力を支える投資で、増産計画の一環とみられる。

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